首先基于HTML 4在XML中的再次阐述，结果产生了XHTML1.0。随着XHTML1.0规范的附录C发布的HTML Compatibility Guidelines（HTML兼容性指导），使XHTML1.0文档一致的存在于HTML用户代理。
接下来一步，为了便于在文档中集成使用，模块化了元素属性，通过整合XHTML和其他标记集合。这个模块在 Modularization of XHTML一文中规定。XHTML Basic是在这些模块中公认的最小架构及目标是移动应用程序开发方向的一种语言。
XHTML1.1是大型架构模块的一个实例，消除了许多表现层的特征。虽然XHTML1.1看起来非常类似于XHTML 1.0 Strict，但他被计划用来充当将来扩展XHTML家族系列文档类型，以及其模块设计使他更容易的增加其他必须模块或将其本身整合到其他标识语言中去。XHTML 1.1 plus MathML 2.0 文档类型是类似XHTML家族系列文档类型的一种。
XHTML2.0是打算给丰富的，可移植的基于web的应用程序使用的。虽然XHTML的祖辈来自HTML 4, XHTML 1.0,和XHTML 1.1,但并不打算同早先的版本进行向后兼容。他是作为Modularization of XHTML中规定的一种XHTML宿主语言。同样的，他由一系列XHTML共同描述语言的元素和属性，及他们的内容模型的模块组成。XHTML 2.0更新了定义在Modularization of XHTML的许多模块,及包含了所有那些模块及语义的更新版本。XHTML2.0也使用来自Ruby, XMLEvents,和 XForms的模块。