Pertama berdasarkan penjabaran ulang HTML 4 menjadi XML, hasilnya adalah XHTML 1.0. Dengan dirilisnya Pedoman Kompatibilitas HTML (Pedoman Kompatibilitas HTML) di Lampiran C spesifikasi XHTML 1.0, dokumen XHTML 1.0 secara konsisten hadir di agen pengguna HTML.
Langkah selanjutnya adalah memodulasi atribut elemen untuk memudahkan integrasi ke dalam dokumen, dengan mengintegrasikan XHTML dan kumpulan markup lainnya. Modul ini ditentukan dalam artikel Modularisasi XHTML. XHTML Basic adalah bahasa yang diakui sebagai arsitektur minimal di antara modul-modul ini dan ditujukan untuk pengembangan aplikasi seluler.
XHTML 1.1 adalah contoh modul arsitektur besar yang menghilangkan banyak fitur lapisan presentasi. Meskipun XHTML 1.1 terlihat sangat mirip dengan XHTML 1.0 Strict, XHTML 1.1 direncanakan untuk berfungsi sebagai perpanjangan masa depan dari jenis dokumen keluarga XHTML, dan desain modulnya memudahkan untuk menambahkan modul lain yang diperlukan atau mengintegrasikan dirinya ke dalam bahasa markup lainnya . Tipe dokumen XHTML 1.1 plus MathML 2.0 adalah tipe yang mirip dengan tipe dokumen keluarga XHTML.
XHTML 2.0 ditujukan untuk aplikasi berbasis web yang kaya dan portabel. Meskipun nenek moyang XHTML berasal dari HTML 4, XHTML 1.0, dan XHTML 1.1, hal ini tidak dimaksudkan agar kompatibel dengan versi sebelumnya. Ini adalah bahasa host XHTML yang ditentukan dalam Modularisasi XHTML. Demikian pula, ini terdiri dari serangkaian modul yang secara kolektif menjelaskan elemen dan atribut bahasa XHTML dan model kontennya. XHTML 2.0 memperbarui banyak modul yang ditentukan dalam Modularisasi XHTML, dan berisi versi terbaru dari semua modul dan semantik tersebut. XHTML2.0 juga menggunakan modul dari Ruby, XMLEvents, dan XForms.