首先基於HTML 4在XML中的再次闡述，結果產生了XHTML1.0。隨著XHTML1.0規範的附錄C發布的HTML Compatibility Guidelines（HTML相容性指導），使XHTML1.0文件一致的存在於HTML用戶代理程式。
接下來一步，為了方便在文件中整合使用，模組化了元素屬性，透過整合XHTML和其他標記集合。這個模組在Modularization of XHTML一文中規定。 XHTML Basic是在這些模組中公認的最小架構及目標是行動應用程式開發方向的一種語言。
XHTML1.1是大型架構模組的實例，消除了許多表現層的特性。雖然XHTML1.1看起來非常類似於XHTML 1.0 Strict，但他被計劃用來充當將來擴展XHTML家族系列文檔類型，以及其模組設計使他更容易的增加其他必須模組或將其本身整合到其他標識語言中去。 XHTML 1.1 plus MathML 2.0 文件類型是類似XHTML家族系列文件類型的一種。
XHTML2.0是打算給予豐富的，可移植的基於web的應用程式使用的。雖然XHTML的祖輩來自HTML 4, XHTML 1.0,和XHTML 1.1,但並不打算同早先的版本進行向後相容。他是作為Modularization of XHTML中規定的一種XHTML宿主語言。同樣的，他由一系列XHTML共同描述語言的元素和屬性，以及他們的內容模型的模組所組成。 XHTML 2.0更新了定義在Modularization of XHTML的許多模組,及包含了所有那些模組及語義的更新版本。 XHTML2.0也使用來自Ruby, XMLEvents,和XForms的模組。